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揪心!日本光刻胶巨头放话:即使获知成分,中国也做不出EUV光刻胶

2022/5/27 16:10:30      点击:

据英国《金融时报》报道,近日日本光刻胶巨头JSR的首席执行官埃里克•约翰逊(Eric Johnson)在接受采访时表示,尽管中国大陆在努力推动芯片的自给自足,但中国半导体产业必要的基础设施不足,比如很难掌握基于极紫外(EUV)光刻的复杂芯片制造技术,发展先进制程的芯片制造技术将非常困难。


约翰逊做出这一表态之际,正值拜登开展亚洲之行。5月20日,拜登和美国商务部长雷蒙多等人抵达韩国后,直接前往三星最先进的3纳米工厂参观,EUV光刻机是实现这种工艺必不可少的设备,拜登在现场强调“要保证半导体供应链稳定”。


拜登参观三星电子的3纳米工厂


总部位于东京的JSR是一家领先的光刻胶供应商,成立于1957年,中文名为日本合成橡胶,是最早量产EUV光刻胶的厂商之一,产品线也最健全,全球市场占有率约在30%至40%,其主要客户包括三星、台积电和英特尔。中国作为全球最大的芯片进口国,是JSR增长战略的重要组成部分。


第三方数据显示,截至2021年,JSR是全球仅有的四家EUV光刻胶供应商之一,这种光刻胶应用于EUV光刻环节,是制造最先进芯片必不可少的材料。另外,JSR在ArF光刻胶领域以24%的市场份额位居全球第一;在整个光刻胶领域,JSR以13%的市场份额位居世界第三,日本东京应化和美国陶氏化学分列第一和第二。



埃里克•约翰逊目前担任JSR的CEO,也是日本公司中为数不多的美国高层。约翰逊指出,“中国也非常想发展自己的EUV(极紫外光刻)能力和相关的生态系统(比如EUV光刻胶)。但坦率地说,我认为他们要做到这一点非常困难。”


更刺激国人的一句话来了,他称即使中国“得到了一份关于化学成分究竟是什么的论文……要在纯度、精度和再现性方面进行制造是非常困难的”,因为“事情没那么简单,他们也没有供应链来支持这一点......开发尖端能力需要数十年时间和大量资金。”



不过,Eric Johnson也指出,中国方面正在积极投资不那么先进的芯片制造技术,这些技术也很重要。“中国有很多不依赖于这些非常前沿能力的机会,人们没有充分认识到这一点。”


财报显示,在截至2021年3月31日的财年中,JSR在中国市场实现营收6.62亿美元(约合人民币44.08亿元),占总营收的比重为16.41%,中国是该公司第二大市场


JSR财报截图


约翰逊指出,中国是JSR增长战略的重要组成部分。但他同时提到,希望能够在“尊重”和“负责任地”为中国客户提供服务的同时,兼顾“对美国政府的关切以及对保护日本利益的关切”。



图:阿斯麦CEO温彼得


针对约翰逊提到的EUV技术,实际上,荷兰光刻机巨头阿斯麦(ASML)CEO温彼得也在今年1月表达过和约翰逊类似的观点,认为“中国不太可能复制出顶尖的EUV光刻机”。但他当时补充称,永远别那么绝对,中国的物理定律和全世界是一样的,“他们肯定会尝试”。


这些话听着都让人揪心,但却道出了中国正面临着的残酷事实。


目前,在全球半导体光刻胶领域,主要被日本合成橡胶(JSR)、东京应化(TOK)、美国杜邦、日本信越化学、富士电子、罗门哈斯等头部厂商所垄断,其中JSR占据了28%的市场。而在高端半导体光刻胶市场上,JSR在ArF光刻胶领域以24%的市场份额位居全球第一。在EUV光刻胶方面,TOK和JSR有较高的份额。


从国内的光刻胶市场来看,低端的中g线/i线光刻胶自给率约为20%,KrF光刻胶自给率不足5%,而高端的ArF光刻胶完全依赖进口,是国内半导体的卡脖子技术之一。至于EUV光刻胶,由于美国的阻挠,国内目前无法进口EUV光刻机,因此国产EUV光刻胶的开发自然也无从谈起。

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